電感耦合等離子體發射光譜儀與其它大型精密儀器一樣，需要在一定的環境下運行，失去這些條件，不僅儀器的使用效果不好，而且改變儀器的檢測性能，甚至造成損壞，縮短壽命。根據光學儀器的特點，對環境溫度和濕度有一定要求。如果溫度變化太大，光學元件受溫度變化的影響就會產生譜線漂移，造成測定數據不穩定，一般室溫要求維持在70～75攝氏度間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1攝氏度。而環境濕度過大，光學元件，特別是光柵容易受潮損壞或性能降低。

 

  電感耦合等離子體發射光譜儀系統開車前必須按潤滑部位(鋼絲刷軸、蝸輪箱、主動軸承座、蝸桿軸承、升降油缸上下軸、活動虎鉗滑動面夾緊絲桿)要求加油。蝸輪箱內的蝸輪、蝸桿采用30號機油油浴潤滑，由蝸輪箱上部的油塞孔注入，箱仙面備有油標，當鋸梁位于zui低位置時，油面應位于油標的上、下限之間。試用一個月后應換油，以后每隔3-6個月換油1次，蝸輪箱下部設有放油塞。

 

  在清理電感耦合等離子體發射光譜儀的時候，濕度對高頻發生器的影響也十分重要，濕度過大，輕則等離子體不容易點燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀元件，如功率管隔直陶瓷電容擊穿，輸出電路阻抗匹配、網絡中的可變電容放電等，以至損壞高頻發生器。一般室內濕度應小于百分之70，控制在百分之45～60之間，應有空氣凈化裝置。